ชุดอุปกรณ์เพียโซแอคชูเอเตอร์ความแม่นยำสูง อุปกรณ์เพียโซควบคุมสเตจแกน XYZ พร้อมชุดควบคุมความแม่นยำสูง ใช้สำหรับการควบคุมการเคลื่อนที่ของอุปกรณ์เลเซอร์และเครื่องมือวัดความแม่นยำสูง อุปกรณ์เพียโซควบคุมการสแกนเลนส์ใกล้วัตถุ (Objective lens) ความแม่นยำสูง ใช้สำหรับการควบคุมการเคลื่อนที่ของเลนส์ใกล้วัตถุ (Objective lens) สำหรับเครื่องมือวัดความแม่นยำสูง มีช่วงการเคลื่อนที่ไม่น้อยกว่า 12 มิลลิเมตร ทั้งแกน X และ แกน Y